相关考题
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多项选择题
离子注入设备主要由（）和聚焦阳极，偏束板，扫描器，靶室组成。
A.离子发生器
B.磁分析器
C.加速器
D.减速器 -
多项选择题
离子注入使用用来制作（）
A.超浅结
B.源漏注入
C.深埋层
D.阈值电压调整 -
多项选择题
离子注入后退火的目的是（）
A.修复晶格损伤
B.激活杂质
C.提高硬度
D.提高稳定性
