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多项选择题
离子注入后退火的目的是()
A.修复晶格损伤
B.激活杂质
C.提高硬度
D.提高稳定性 -
多项选择题
离子注入的有点有()
A.设备简单
B.不受固溶度限制
C.避免高温过程
D.杂质纯度高 -
多项选择题
掺杂的目的可能是()
A.形成PN结
B.改变材料的电阻率
C.改变材料的某些特性
D.形成一定的杂质分布
