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多项选择题
离子注入的有点有（）
A.设备简单
B.不受固溶度限制
C.避免高温过程
D.杂质纯度高 -
多项选择题
掺杂的目的可能是（）
A.形成PN结
B.改变材料的电阻率
C.改变材料的某些特性
D.形成一定的杂质分布 -
多项选择题
属于绝缘介质膜的是（）
A.砷化镓
B.二氧化硅
C.氮化硅
D.多晶硅
