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多项选择题
离子注入使用用来制作（）
A.超浅结
B.源漏注入
C.深埋层
D.阈值电压调整 -
多项选择题
离子注入后退火的目的是（）
A.修复晶格损伤
B.激活杂质
C.提高硬度
D.提高稳定性 -
多项选择题
离子注入的有点有（）
A.设备简单
B.不受固溶度限制
C.避免高温过程
D.杂质纯度高
