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多项选择题
测量外延层厚度的方法有（）
A.红外反射法
B.电容法
C.磨角法
D.四探针法 -
多项选择题
外延层需要检测的参数有（）
A.厚度
B.缺陷检测
C.电阻率
D.电导率 -
多项选择题
低压外延的气压可能是（）
A.10pa
B.100pa
C.100kp
D.10kpa
