相关考题
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多项选择题
外延层需要检测的参数有()
A.厚度
B.缺陷检测
C.电阻率
D.电导率 -
多项选择题
低压外延的气压可能是()
A.10pa
B.100pa
C.100kp
D.10kpa -
多项选择题
低压外延的优点是()
A.减小掺杂效应
B.缩小过渡区域用于多层外延
C.对外延温度有所下降
D.降低成本
