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多项选择题
SOI应用在集成电路上的优势是（）
A.寄生电容小
B.速度快
C.抗辐射能力强
D.能抑制CMOS电路的闩锁效应 -
多项选择题
测量外延层厚度的方法有（）
A.红外反射法
B.电容法
C.磨角法
D.四探针法 -
多项选择题
外延层需要检测的参数有（）
A.厚度
B.缺陷检测
C.电阻率
D.电导率
