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多项选择题
低压外延的优点是（）
A.减小掺杂效应
B.缩小过渡区域用于多层外延
C.对外延温度有所下降
D.降低成本 -
多项选择题
外延在半导体生产中的作用是（）
A.实现杂质浓度突变
B.优化衬底材料性能
C.设计更加灵活
D.让硅片更厚 -
多项选择题
CMP工艺的三大关键因素是（）
A.抛光机
B.抛光液
C.抛光盘
D.抛光垫
