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多项选择题
外延层电阻率的检测方法有（）
A.四探针法
B.扩展电阻法
C.电容法
D.红外反射法 -
多项选择题
根据外延层工艺中反应物的状态，可以将外延分为（）
A.汽相外延
B.固相外延
C.液相外延
D.反相外延 -
多项选择题
SOI应用在集成电路上的优势是（）
A.寄生电容小
B.速度快
C.抗辐射能力强
D.能抑制CMOS电路的闩锁效应
