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多项选择题
外延掺杂的作用是（）
A.控制导电性质
B.弥补缺陷
C.形成过渡区域
D.控制外延层的电导率 -
多项选择题
外延层电阻率的检测方法有（）
A.四探针法
B.扩展电阻法
C.电容法
D.红外反射法 -
多项选择题
根据外延层工艺中反应物的状态，可以将外延分为（）
A.汽相外延
B.固相外延
C.液相外延
D.反相外延
