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多项选择题
低压外延反应器的缺点是（）
A.可以减小自掺杂反应
B.对设备要求提高，必须防止泄漏
C.工艺温度降低外延层晶格受影响
D.缩小了过渡区可用于多层外延 -
多项选择题
以下结构属于异质结的有（）
A.SOI
B.SOS
C.SEG
D.MOCVD -
多项选择题
外延掺杂的作用是（）
A.控制导电性质
B.弥补缺陷
C.形成过渡区域
D.控制外延层的电导率
