多项选择题 机电一体化系统的组成部分主要分为（）。

多项选择题 发展机电一体化要解决微电子所面临的共性关键技术包括检测传感技术、信息处理技术和（）。

多项选择题 下列选项中能提高传感器性能的是（）。