多项选择题
发展机电一体化要解决微电子所面临的共性关键技术包括检测传感技术、信息处理技术和（）。
A.自动控制技术 B.伺服驱动技术 C.精密机械技术 D.系统总体技术
多项选择题 下列选项中能提高传感器性能的是（）。
多项选择题 微电子应用领域广泛，优先发展机电一体化领域具备的条件（）。
多项选择题 步进电机的主要特性包括精度和（）。
