多项选择题 发展机电一体化要解决微电子所面临的共性关键技术包括检测传感技术、信息处理技术和（）。

多项选择题 下列选项中能提高传感器性能的是（）。

多项选择题 微电子应用领域广泛，优先发展机电一体化领域具备的条件（）。