问答题
简述溅射成膜的原理，并举例说明哪种薄膜采用溅射方法成膜。
在一定真空条件下，通过外加电、磁场的作用将惰性气体电离，用加速的离子轰击固体表面，离子和固体表面原子交换动量，使固体表面......
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问答题 简述阵列工艺的基本工艺流程。
问答题 试根据5次光刻的工艺流程绘制等效电路。
问答题 试分析在背沟道阻挡结构的第二次光刻中，采用了背曝光为什么还要采用一次曝光？直接使用一次曝光不行吗？
