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多项选择题
光刻胶的主要性能指标有（）
A.灵敏度
B.分辨率
C.抗蚀性
D.黏附性 -
多项选择题
光刻胶的主要成分有（）
A.感光剂
B.溶剂
C.聚合物材料
D.胶水 -
多项选择题
光刻工艺三要素为（）
A.光刻机
B.光刻胶
C.掩膜版
D.涂胶机
