问答题
简答题
试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案。
【参考答案】
在4次光刻中，第二次光刻有源岛和第三次光刻的源漏电极合为一次光刻，为4次光刻的第二次光刻，光刻次数减少，但工艺难度大大增......
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