问答题
简答题
源漏电极很多工厂采用的复层材料Mo/Al/Mo,试分析上下层Mo的作用。
【参考答案】
1)下层Mo的作用:Al直接与a-Si接触很容易向a-Si扩散使漏电流增大,影响TFT的关态特性,所以在Al层下面要增加......
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