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单项选择题
还原退火炉内，保护气体H2浓度越高，则基板表面氧化膜被还原的速度（）。
A.越快
B.越慢
C.无变化 -
单项选择题
还原退火炉正常生产时，要保证炉内始终（）。
A.微正压
B.微负压
C.与外界等压 -
单项选择题
停炉时，氢含量低于（）时，方可将温度降低到700℃。
A.2%
B.4%
C.6%
D.10%
