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单项选择题
要保证退火炉内的露点要求，纯化后的氮气的露点要小于（）。
A.0℃
B.-30℃
C.-60℃
D.－50℃ -
单项选择题
还原退火炉内，保护气体H2浓度越高，则基板表面氧化膜被还原的速度（）。
A.越快
B.越慢
C.无变化 -
单项选择题
还原退火炉正常生产时，要保证炉内始终（）。
A.微正压
B.微负压
C.与外界等压
