问答题
简答题
简述太阳能电池片制造PECVD的目的及原理？
【参考答案】
目的：在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。
P.ECVD技术原理：是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
-
问答题
分别写出刻蚀及去PSG的工艺控制流程？ -
问答题
边缘刻蚀冷热探针的工作原理？ -
问答题
刻蚀及去PSG的目的是什么？
