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问答题

简答题

刻蚀及去PSG的目的是什么?

    【参考答案】

    刻蚀的目的:去除边缘的PN结,防止上下短路而造成的并联电阻低。去PSG的目的:去除硅片表面含有磷原子的SIO2层。

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