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判断题
VPE过程其实就是一种CVD的过程。 -
判断题
CVD淀积二氧化硅的原理跟热氧化相同。 -
多项选择题
下列方法属于热氧化制备二氧化硅的方法是（）
A.化学汽相沉淀法
B.原子层沉淀法
C.水汽氧化
D.氢氧合成氧化
