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多项选择题
关于热氧化速率，说法正确的是（）
A.温度越高，速度越快
B.压力越大，速率越快
C.水汽氧化最慢，干氧氧化最快
D.掺杂浓度越高，速率越快 -
多项选择题
热氧化前硅片厚100微米，氧化后二氧化硅的厚度为100微米，此时下列正确的是（）
A.被氧化了44微米的硅
B.被氧化了56微米的硅
C.剩余的硅与生成的二氧化硅总的厚度和为144微米
D.剩余的硅与生成的二氧化硅总的厚度和为156微米 -
多项选择题
以下哪些工艺会消耗硅片自身的硅（）
A.热氧化
B.掺氯氧化
C.干氧氧化
D.化学沉积
