问答题
简答题
简述7次光刻的第二次光刻中O2灰化的作用。
【参考答案】
O2灰化是在4层CVD之后阻挡层i/sSiNx膜的上面进行氧气O2...... (↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
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