填空题 变极距型电容传感器做成差动结构后，灵敏度提高原来的2倍。而非线性（）转化为平方反比关系而得以大大降低。

填空题 变极距型电容传感器做成差动结构后，灵敏度提高原来的（）倍。

填空题 移动电容式传感器动极板，导致两极板有效覆盖面积A发生变化的同时，将导致电容量变化，传感器电容改变量ΔC与动极板水平位移成线性关系、与动极板角位移成（）关系。