填空题 移动电容式传感器动极板，导致两极板有效覆盖面积A发生变化的同时，将导致电容量变化，传感器电容改变量ΔC与动极板水平位移成线性关系、与动极板角位移成（）关系。

填空题 移动电容式传感器动极板，导致两极板有效覆盖面积A发生变化的同时，将导致电容量变化，传感器电容改变量ΔC与动极板水平位移成（）关系。

填空题 变极距型电容式传感器单位输入位移所引起的灵敏度与两极板初始间距成（）关系。