单项选择题 一般情况下，制造晶圆的原材料是（）

单项选择题 （）的目的是把注入的杂质原子电离成离子，形成注入离子束，并输出具有一定动能的正离子束。

单项选择题 （）是指按照一定的方式将杂质掺入到半导体等材料中，改变材料电学性质，达到形成半导体器件的目的。