填空题 薄膜式气缸的膜片变形量有限，其行程一般不易超过（）mm，而且气缸活塞杆上的输出力随着行程的加大而（）

填空题 气动马达按结构形式可分为（）气动马达、（）气动马达和（）气动马达等。

填空题 气动马达是将压缩空气的压力能转换成（）的能量转换装置，即输出力矩，带动机构作（）。