问答题
简述背沟道阻挡结构的优缺点。
优点是a-Si:H层可以做得比较薄,一般厚度是300~500Å,薄膜的生产性好,关态电流很小;刻蚀选择比大,......
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问答题 简述背沟道刻蚀型结构的优缺点。
问答题 从电导率的角度思考,如何能制作出高性能的薄膜晶体管?提高载流子浓度可以吗?
问答题 主导TFT器件工作的半导体现象是什么?它的物理意义和主要影响参数?为提高TFT器件在液晶显示器中的开关作用,从半导体的角度应该提高什么,降低什么?