单项选择题 6英寸晶圆的直径为（）mm。

单项选择题 一般情况下，制造晶圆的原材料是（）

单项选择题 （）的目的是把注入的杂质原子电离成离子，形成注入离子束，并输出具有一定动能的正离子束。