问答题
简答题
当吸附膜是绝缘材料、导电体或金属氧化物半导体时,SAW气敏传感器的敏感机理?
【参考答案】
当薄膜是绝缘材料时,它吸附气体引起密度的变化,进而引起SAW延迟线振荡器频率的偏移;当薄膜是导电体或金属氧化物半导体膜时......
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下列传感器不属于按基本效应分类的是()。
A.半导体传感器
B.磁传感器
C.物理传感器
D.真空传感器
