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多项选择题
扩散工艺主要测量哪些参数?()
A.结深Xj
B.击穿电压Vb
C.扩散薄层电阻
D.密度 -
多项选择题
扩散系数可以表示()
A.扩散的快慢
B.扩散的原因
C.扩散的难易程度
D.扩散的方向 -
多项选择题
刻蚀的主要参数有()
A.刻蚀速率
B.刻蚀选择比
C.刻蚀因子
D.均匀性
