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多项选择题
硼的扩散主要分为（）
A.固态扩散
B.液态扩散
C.气态扩散
D.等离子扩散 -
多项选择题
杂质的扩散方式有（）
A.替位式
B.间隙式
C.替位-间隙式
D.跳跃式 -
多项选择题
扩散工艺主要测量哪些参数（）
A.结深
B.击穿电压
C.扩散薄层电阻
D.密度
