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单项选择题
“电子气”的温度约比普通气体的平均温度高（）倍。
A.5-10
B.10-50
C.10-100
D.50-100 -
单项选择题
沉积方式APCVD的优点有（）。
A.高纯度
B.反应器结构简单
C.产量高
D.适合于大规模生产 -
单项选择题
固相反应优点，不包括（）。
A.反应速率慢
B.高选择性
C.高产率
D.工艺过程简单
