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问答题

简答题

简述偏移结构的制作过程。

    【参考答案】

    制作过程为:
    1)光刻刻蚀栅极,保留栅极上面的光刻胶;
    2)利用带着光刻胶的栅极图形做掩膜对源区和漏......

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