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问答题

简答题

简述溅射成膜的原理,并举例说明哪种薄膜采用溅射方法成膜。

    【参考答案】

    在一定真空条件下,通过外加电、磁场的作用将惰性气体电离,用加速的离子轰击固体表面,离子和固体表面原子交换动量,使固体表面......

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