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单项选择题
SOI的意思是（）
A.汽相外延
B.液相外延
C.分子束外延
D.绝缘层上（外延）硅 -
单项选择题
（）是使硅片上的局部区域达到平坦化。
A.平滑处理
B.部分平坦化
C.局部平坦化
D.全局平坦化 -
单项选择题
（）不是杂质在半导体中的扩散方式。
A.替位式
B.间隙式
C.替位-间隙式
D.跳跃式
