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多项选择题

LIGA技术主要工艺步骤包括()。

    A.MEMS光刻
    B.注模复制
    C.X光深度同步辐射光刻
    D.电铸制模
    E.MEMS蚀刻

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  • 多项选择题
    微机械主要特点有()。

    A.超微机械加工
    B.性能稳定,可靠性高
    C.能耗低、灵敏度和工作效率高
    D.多功能和智能化
    E.适用于大批量生产,制造成本低

  • 多项选择题
    为实现超精密切削,刀具应具有以下性能()。

    A.极高的硬度、耐用度和弹性模量
    B.刃口能磨得极其锋锐
    C.刀刃无缺陷
    D.与工件材料的抗黏结性好,化学亲和性小,摩擦系数低
    E.刀口半径值极小

  • 多项选择题
    关于超精密加工说法正确的是()。

    A.指加工精度高于0.01um
    B.超精密加工是微米工艺
    C.表面粗糙度在Ra0.03-0.005um
    D.加工精度达到极高程度的精密加工工艺
    E.表面质量达到极高程度的精密加工工艺

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