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多项选择题

关于离子注入掺杂,说法正确的有()

    A.离子注入对半导体晶格没有损伤
    B.离子注入利用电场来控制离子的注入深度
    C.离子注入利用磁场来筛选注入的离子
    D.将半导体晶片偏转一定的角度可以避免离子注入遇到的沟道效应

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