问答题
简答题
离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些？
【参考答案】
工艺参数：杂质种类、杂质注入浓度、杂质注入深度
设备参数：弧光反应室的工作电压与电流、热灯丝电流、离子分离装置......
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