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单项选择题
6英寸晶圆的直径为（）mm。
A.125
B.150
C.200
D.300 -
单项选择题
一般情况下，制造晶圆的原材料是（）
A.硼
B.锗
C.硅
D.硒 -
单项选择题
（）的目的是把注入的杂质原子电离成离子，形成注入离子束，并输出具有一定动能的正离子束。
A.离子源
B.分析磁体
C.加速聚焦器
D.靶室
