相关考题
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多项选择题
干法刻蚀的缺点有（）
A.选择比好
B.容易造成衬底损伤
C.设备昂贵
D.不要终点检测 -
多项选择题
干法刻蚀的优点有（）
A.各向异性
B.均匀性好
C.各向同性
D.设备简单 -
多项选择题
以下（）属于刻蚀终点检测法。
A.OES
B.IEP
C.RIE
D.HDP
