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单项选择题

装片和上片是晶圆检测中的基本操作。在晶圆检测前,需要从氮气柜中取出装有晶圆的花篮转移到空花篮中,该动作成为导片。请选择导片的正确步骤()

    A.取出晶圆和随件单→核对晶圆印章批号→核对晶圆片号→核对晶圆数量
    B.取出晶圆和随件单→核对晶圆数量→核对晶圆印章批号→核对晶圆片号
    C.取出晶圆和随件单→核对晶圆印章批号→核对晶圆数量→核对晶圆片号
    D.取出晶圆和随件单→核对晶圆片号→核对晶圆印章批号→核对晶圆数量

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