填空题
对于多晶硅、籽晶、母合金上的油污光用丙酮或苯去掉，石英坩埚表面的沾污用洗涤剂或肥皂清洗，然后进行清洁处理，多晶硅、母合金、籽晶一般用（）腐蚀。
【参考答案】
硝酸、氢氟酸
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填空题
硝酸、氢氟酸
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