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直拉单晶硅工艺学
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填空题
温度梯度的大小很大程度上决定于()的结构,决定于它们之间的()位置。
【参考答案】
热系统;相对
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填空题
为克服拉制高杂质浓度单晶的组分过冷,需要有大的()温度梯度,为了提高单晶质量要求有较小的()温度梯度。
填空题
生长系统中的温度分布中,任何品种单晶生长都需要()对称。
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按照生长界面处的温度梯度,一般采用()的界面生长单晶时,有助于改善单晶的性能。
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