填空题 压电式传感器可等效为一个（）和一个电容并联，也可等效为一个与电容相串联的电压源。

填空题 电感式传感器可以分为（）、（）、涡流式三大类。

填空题 电涡流传感器从测量原理来分，可以分为（）和低频透射式两大类。