填空题 半闭环进给伺服系统的检测元件是（）。

填空题 数控机床一般由（）、主轴伺服系统、进给伺服系统、机床本体及其辅助装置组成

填空题 将同一激光器发出的光分成频率不同的两束光波，并使之产生干涉而进行测量的精密仪器叫（）。