多项选择题
测量结深的方法有（）
A.磨角染色法B.扩展电阻法C.阳极氧化剥离法D.干涉法
多项选择题 扩散工艺主要测量哪些参数？（）
多项选择题 扩散系数可以表示（）
多项选择题 刻蚀的主要参数有（）
