填空题 二套空分装置纯化器空气出口的二氧化碳含量应控制在（）ppm以下，再生气水含量控制在（）ppm以下。

填空题 一套空分装置进口膨胀机最低转速（），轴振动（）um联锁停机，轴温（）℃联锁停机。

填空题 一套空分装置冷却水进空冷塔流量（）t/h，冷冻水进空冷塔流量（）t/h。